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    真空烧结炉使用注意事项
    发布时间:2018-06-13   浏览:2925次

      真空烧结炉加热工件无氧化、无脱碳、无合金元素贫化,脱脂脱气,真空提纯,避免氢脆,能实现分级等温淬火,能控制加热与冷却,为自动化、柔性化生产奠定基础。但在使用加热的时候需要注意下面四点:

      1、测试真空烧结炉炉温均匀性时,应注意测温触点的定位***方式,以及离加热元件的远近。箱式电阻炉炉内经常(至少每月)用毛刷、扫帚或压缩空气、吸尘器等清洁炉膛和搁砖,要防止炉内氧化皮等杂质掉在电热元件上,发生短路,甚至烧坏搁砖。底板、坩埚、炉罐等耐热钢构件每使用一段时间吊起敲击,清除其氧化皮。氧化铁皮等杂质如不及时清除,就会熔融与耐火砖发生反应,使炉丝熔化。

      2、要避免热处理产品,尤其足铜、铝、锌、锡、铅等与电加热元件接触,无论是细粉、熔液或蒸汽等,防止在电加热体表面侵蚀形成“麻坑”,截面变小再后过热而烧断。

      3、真空烧结炉升温后,不能长时间开启炉门。当温度高于400℃时,不得急剧冷却。对于电热元件在温度高、冷热变化大情况下容易引起氧化掉皮。对于钼加热炉,EI常使用维护中注意应冷却至200℃以下方可停送保护气。

      4、引出棒与线夹子应接触良好,引出棒与夹子接触而应光滑。引出棒不能有发红现象,供电时线夹子的升温***高不超过60℃。注意由于升温停止真空烧结炉炉时的热胀冷缩以及蠕变伸长等,引出棒接线夹子的螺栓容易发生氧化松动形成虚接短路,要定期检查拧紧。

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    15 July 2024
    气相沉积炉在微电子制造中的重要应用及其优势

    气相沉积炉在微电子制造中的重要应用及其优势

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